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“职责所在。”朱明月淡淡一笑,又拿起旁边的罐子道:“刚才的是正胶,这罐是反胶,总裁可以带回去试试效果。”
虽然光刻胶种类多,大致分为六种,不过40纳米以下芯片用的光刻胶一般都是ArF光刻胶,而它又区分正反胶。
何为光刻正反胶?
就比如说ArF光刻胶的正胶,它被紫外光照射后,照射区域的化学性质会变得容易溶解,因此经过曝光的区域会被移除,形成电路图案,未曝光的区域则保持不变,形成所需的结构。
至于ArF光刻胶的反胶,它被紫外光照射则截然相反,未曝光区域的化学性质变得容易溶解,因此未经曝光的区域会被移除,形成图案,经曝光的区域则保持不变,形成所需的结构。
光刻正反胶,它们分别对应了不同的光刻生产工艺,也是硅片曝光的必备。
“对了。”
朱明月在拿出光刻胶后,还不忘提一嘴道:“这款光刻胶阻抗是10的20次方,领先JSR株式会社、TOK东京应化5个次方。
“阻抗越高,就代表光刻胶纯度越高,纯度不足就会造成硅片污染,这款光刻胶总的来说就四个字,遥遥领先。”
“遥遥领先…”