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与网络上的缩小图片不同,真实观感的光刻机,简直就是像一辆小型客运车辆。
长宽高约为六米、三米、三米,整体外观像一个巨大的白色集装箱,里面则是装有来自全世界各个先进国家生产,并由荷兰ASML公司组装的十万多个精密零部件。
高永明也上前一步,为众人讲解道:“这是28纳米制程的DUV光刻机,它使用的是193纳米波长的深紫外光源,可以一次性将28纳米、34纳米、48纳米及以上纳米制程的芯片曝光出来,是目前我们龙芯国际生产的主流机器。”
“如果想要生产20纳米芯片,那这台28纳米制程的光刻机精度与分辨率就不够用了,需要用到更先进的20纳米制程光刻机。”
“各位请继续跟我来。”
高永明简单介绍了28纳米制程的光刻机,继续向前带路,陈星等众人又跟着走了二十米左右,通过了一道门禁。
当进入到另一台光刻机区域,陈星也不由得惊叹,这台光刻机占地面积就大了。
高度可能要到四米,宽度可能还在三米,但长度至少七米,甚至达到了八米!
如此庞大的体积,这台光刻机的减震平台与钢结构外壳,肯定是做了全面升级的。